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手套箱操作提示

1、不管打開內門還是外門，都必須保證門兩邊的氣壓基本平衡，否則，要么打不開，要么發(fā)生“氣爆”現(xiàn)象。同樣，在對箱體內抽氣與充氣時，也必須保證三通閥處于打開狀態(tài)（即保證手套內外的氣壓相等），否則，手套會膨脹爆裂。

2、如箱體出現(xiàn)漏氣，應首先檢查過渡室門是否關緊和手套口是否破損。如還有漏氣請檢查真空表座、閥門及兩個門上的“O”型圈及真空橡皮。過渡室門與手套口門上的“O”型圈要定期更換（根據(jù)用戶的使用頻率而定）。

3、對系統(tǒng)抽氣時，請緩緩打開閥門，并隨時注意手套的變化，如出現(xiàn)膨脹，應減慢抽氣速度，如仍不能解決問題，應停止抽氣，如手套發(fā)生爆裂，檢查三通閥是否打開。

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手套箱常見故障及解決辦法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱調試或誤操作。

辦法：停止循環(huán)，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因：氣源壓力不足。

辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力過大，造成跳閘。

辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關。

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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質量關系到器件質量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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